หลักการเลือกวัสดุเป้าหมายมีอะไรบ้าง?

วัสดุเป้าหมายคือวัสดุเป้าหมายที่ถูกโจมตีด้วยอนุภาคพลังความเร็วสูง- ใช้ในอาวุธเลเซอร์พลังงานสูง- เมื่อเลเซอร์ที่มีความหนาแน่นของพลังงานต่างกัน รูปคลื่นเอาท์พุตที่แตกต่างกัน และความยาวคลื่นที่แตกต่างกันมีปฏิกิริยากับวัสดุเป้าหมายที่แตกต่างกัน จะทำให้เกิดเอฟเฟกต์การฆ่าและการทำลายที่แตกต่างกัน

หลักการเลือกวัสดุเป้าหมาย

(1) องค์ประกอบของวัสดุเป้าหมาย ฟิล์มควรมีความแข็งแรงเชิงกลที่ดีและมีเสถียรภาพทางเคมี

(2) วัสดุฟิล์มที่ใช้สำหรับการสปัตเตอร์ปฏิกิริยาจะต้องง่ายต่อการสร้างฟิล์มผสมด้วยก๊าซปฏิกิริยา

(3) วัสดุเป้าหมายและพื้นผิวจะต้องประกอบอย่างแน่นหนา มิฉะนั้น ควรใช้วัสดุฟิล์มที่มีความแข็งแรงในการยึดเกาะที่ดีกับพื้นผิว ขั้นแรก ควรสปัตเตอร์ฟิล์มฐานก่อนเตรียมชั้นฟิล์มที่ต้องการ

(4) ภายใต้สมมติฐานของการตอบสนองความต้องการด้านประสิทธิภาพของฟิล์ม ยิ่งค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนระหว่างวัสดุเป้าหมายและพื้นผิวแตกต่างกันน้อยลงเท่าใดก็ยิ่งดีเท่านั้น เพื่อลดอิทธิพลของความเครียดจากความร้อนบนฟิล์มสปัตเตอร์

(5) ตามข้อกำหนดการใช้งานและประสิทธิภาพของฟิล์ม วัสดุเป้าหมายที่ใช้จะต้องเป็นไปตามข้อกำหนดด้านความบริสุทธิ์ ปริมาณสิ่งเจือปน ความสม่ำเสมอของส่วนประกอบ คุณสมบัติทางกล ฯลฯ ข้อกำหนดทางเทคนิค เช่น ความแม่นยำในการตัดเฉือน